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特徴
- コンパクトデザイン
- ターゲット：2〜5インチ
- ±45°チルト機構
- ガス導入機構標準装備
- ターゲット使用高効率（HY）オプション（4＆5インチ）
- RF・HIPIMSモード対応リアユーティリティボックス
- 容易なターゲット交換、ターゲット厚み1-6mm対応
- 磁性体材料スパッタ可能な強磁場仕様
- 直接・間接冷却対応（工場出荷時に設定）
| 項目 | 2インチ | 3インチ | 4インチ | 5インチ |
|---|---|---|---|---|
| ターゲットサイズ ボンディング | 50.8mmOD 1〜3mm厚 | 76.3mmOD 1〜3mm厚 | 101.7mmOD 1〜6mm厚 | 127mmOD 1〜10mm厚 |
| バッキングプレート | 3mm厚 | 6mm厚 | ||
| ターゲットサイズ モノブロック | 50.8mmOD 1-6mm厚 | 76.3mmOD 1〜6mm厚 | 101.7mmOD 1〜10mm厚 | 127mmOD 1〜15mm厚 |
| 内部シャフト取付 | 25.4ｍｍOD、300mm長 | 40mmOD、300mm長 | ||
| 外部フランジ取付 | DN80-ISO-LF | DN100-ISO-LF | DN160-ISO-LF | DN200-ISO-LF |
| 動作圧力 | 7x10-2~1x10-1mbar | |||
| パワー接続 | Nタイプ、7/16またはNH同軸コネクタ | |||
| 最大DC/パルスDC | 1 kw | 1.4 kW | 2 kW | 5 kW |
| 最大RFパワー | 200W | 750W | 1500W | 2500W |
| 冷却水ホース | 1/4in ポリウレタン | 3/8inポリウレタン | ||
| 冷却水量 | 3.2 L/min | 3.4 L/min | 3.8 L/min | 5 L/min |
| ガス導入 | 1/8inステンレス | |||
| チルト | ±45º | |||
| マグネット | 強磁場（HS) | 強磁場（HS）・高効率（HY) | ||
ベースモデル（標準・A・B・C・E）
3G（標準）：チルト・ガスインジェクション・リアシールドボックス
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3G-A: ガスインジェクション・リアシールドボックス
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3G-B: ガスインジェクション
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3G-C: チルト・ガスインジェクション
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3G-E: 外部フランジ取付・ガスインジェクション
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小さなヘッドとベローズを使用しないチルト機構で真空容器の小型化に最適
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メカニカルオプション
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メカニカルオプション一覧
| モデル | ガスインジェクション | チルト | RF/HIPIMS | シャッター | チムニー | ウォールマウントフィードスルー | 水冷アノード | Hidden Anode |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 3G | 画像
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| 3G-A | 画像
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| 3G-B | 画像
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| 3G-C | 画像
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| 3G-E | 画像
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高効率（HY）マグネットオプション
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