均一性の改善

ターゲット上の領域を複数の領域に分割し、各領域でのガス流量を個別に制御することにより、成膜均一性の調整を行うことが可能になります。スピードフロ標準では最大8台のますフローコントローラを同時制御可能で、スピードフロ・ミニでは最大3台まで制御可能です。一般的に各マスフローコントローラは個別のセンサを割り当ててフィードバック制御しますが、1つのセンサの領域を複数の領域に分割した場合は、マスター・スレーブ制御を行うことにより、さらなる微調整が可能となります。