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Optix 主な特徴
- プラズマ分光、光学式ガスモニター
- 高真空圧力下でも差動排気機構なしでガスモニター
- 動作圧力範囲：1x10-4~50 Pa
- 20種類のガス種ライブラリ
- オートID機能でスペクトル中のガス種を自動判別
- フィラメント等の消耗部品なし
- 検出器が待機側なので劣化の恐れなし
- メンテナンス性高い
検出原理
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ソフトウェアメインウィンドウ
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スペクトルウィンドウ
AutoIDを有効にすることで、各ピークに対応するガス種を自動で表示。
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検出感度
- 50ppm (真空度 1.6 Pa、アルゴン中の空気）
- 1E-4 mbar (1E-2 Pa）を超える圧力領域で感度減少
- ガス種に依存 - 小さい分子に対しては感度が落ちる
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検出可能質量数
Optixではプラズマにより大きな分子は小さい分子に分解されます。右図はIPA（イソプロピルアルコール、イソプロパノール、CH3CHOCH3）のスペクトルで、OH・CH・CO・O・Hに分解されています。
- 3原子分子では 50 AMU相当まで測定可能
- 分解された断片によって大きな分子を間接的に検出：100s AMU相当
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主なアプリケーション
- ALD
- CVD
- エッチング
- 熱処理
- HIP装置（ホットプレス）
- リークディテクター
- MOCVD
- OLED
- プラズマスプレー
- プロセスガス分析
- PVD
基本仕様
| 取付ポート | KF25 フランジ |
| 入力電圧 | DC24V |
| 消費電力（代表値） | 20W |
| 出力電圧 | 3kV（最大） |
| 出力電流 | 1.5mA（最大） |
| 動作圧力範囲 | 1 x 10-4 〜 50 Pa |
| 感度 | 50ppm（1.6 Pa下でアルゴン中の空気） |
| 光学波長検出範囲 | 200nm ~ 900nm |
| 処理速度 | 5ms 〜 10s（感度設定による） |
| 通信 | OPC, RS232, LAN, Digital Relay(4) |
| ソフトウェア | Windows 7, 8, 10, 11 |