矩形マグネトロンスパッタソース

矩形マグネトロンスパッタソース

多種・多様なマグネットオプションを揃えた高性能矩形プレーナマグネトロンスパッタソース。アプリケーションに合わせて磁場リンクデュアル・バランス・アンバランス等、最適な磁場デザインを提案します。

磁場シミュレーション・デザイン

3Dシミュレーションツールを駆使した磁場デザイン
ターゲット上の磁束密度をシミュレーション
磁力線の形状を最適化し電子の軌道を制御しターゲットエロージョンを制御

3D磁場シミュレーション

磁場モデリング・シミュレーション

マグネットオプション

マグネットオプション

マグネット	特徴
SW	バランス型 2極式マグネット
PP	アンバランス型 2極式マグネット
HY（SW/PP）	高効率型（HY = High Yield）マグネット
VT	Vtech 磁場可変型マグネット（SWからPPへ変更）
FFE	全面エロージョンマグネット（Full Face Erosion）
HS	強磁場マグネット（High Strength)
RF	低磁場マグネット

取付スタイル

矩形マグネトロン、内部取付

内部取付

矩形マグネトロン、外部フランジ取付

外部フランジ取付

矩形マグネトロン、内部カンチレバー取付

カンチレバー取付

ターゲットサイズ

ターゲットサイズは、標準幅 100mm・125mm・150mmまたは200mmの中から選ぶことが可能で、ターゲット長さは50mm毎に指定可能です。

100mm幅ターゲット組み合わせ例（参考）
マグネット	磁場強度	標準ターゲット厚	ターゲット使用効率、％	最大厚み
標準	650G	6mm厚ターゲット・6mm厚バッキングプレート	>25	16mm
高効率、HY	300G	6mm厚ターゲット・6mm厚バッキングプレート	>45	16mm
高効率ITOターゲット	300G	6mm厚ターゲット・6mm厚バッキングプレート	>35	-
高効率反応性スパッタ	300G	6mm厚ターゲット・6mm厚バッキングプレート	>37	-
強磁場ITO	1000G	6mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>18	-
強磁場	1115G	6mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>20	20mm
強磁場、Niターゲット	400G	6mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>15	-
強磁場、鉄ターゲット	〜500G	2mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>15	-
RF		6-8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>25	16mm
高効率RF			>38	-

125mm幅ターゲット組み合わせ例（参考）
マグネット	磁場強度	標準ターゲット厚	ターゲット使用効率、％	最大厚み
標準	550G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>25	25mm
高効率、HY	220G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>40	20mm
高効率ITOターゲット	220G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>33	-
高効率反応性スパッタ	220G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>35	-
強磁場ITO	1000G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>17	-
強磁場	1000G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>20	25mm
強磁場、Niターゲット	850G	6mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>15	-
強磁場、鉄ターゲット	〜250G	3mm厚ターゲット・6mm厚バッキングプレート	>10	-
RF		6-8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>25	18mm
高効率RF			>38	-

150mm幅ターゲット組み合わせ例（参考）
マグネット	磁場強度	標準ターゲット厚	ターゲット使用効率、％	最大厚み
標準	650G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>25	25mm
高効率、HY	300G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>40	20mm
高効率ITOターゲット	300G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>33	-
高効率反応性スパッタ	300G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>35	-
強磁場ITO	1000G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>17	-
強磁場	1000G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>19	25mm
強磁場、Niターゲット	800G	6mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>14	-
強磁場、鉄ターゲット	〜220G	3mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>10	-
RF		6-8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>25	16mm
高効率RF			>39	-

200mm幅ターゲット組み合わせ例（参考）
マグネット	磁場強度	標準ターゲット厚	ターゲット使用効率、％	最大厚み
標準	475G	10mm厚ターゲット・10mm厚バッキングプレート	>25	30mm
高効率、HY	250G	10mm厚ターゲット・10mm厚バッキングプレート	>40	25mm
高効率ITOターゲット		10mm厚ターゲット・10mm厚バッキングプレート	>34	-
高効率反応性スパッタ		10mm厚ターゲット・10mm厚バッキングプレート	>35	-
強磁場ITO	1000G	5mm厚ターゲット・10mm厚バッキングプレート	>18	-
強磁場	800G	10mm厚ターゲット・10mm厚バッキングプレート	>20	30mm
強磁場、Niターゲット	650G	8mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>15	-
強磁場、鉄ターゲット	〜400G	4mm厚ターゲット・8mm厚バッキングプレート	>11	-

高効率マグネット-ターゲット使用効率40〜60％

高効率HYエロージョン

ターゲット固定方法

矩形マグネトロンフロント

マグネトロン背面、ユーティリティ

矩形マグネトロン背面、ユーティリティ