ロータリーマグネトロンスパッタソース - GRSシリーズ

ロータリーマグネトロンプラズマ

4種類のエンドブロック

GRS-S 小型ロータリーマグネトロンエンドブロック
GRS-S コンパクト
ドロップイン

小型ドロップイン
∅75mm, ∅100mm対応

GRS-M ロータリーマグネトロンエンドブロック
GRS-M ドロップイン

標準ドロップイン
標準∅150mm

GRS-C ロータリーマグネトロンエンドブロック
GRS-C サイドマウント

コンパクトデザイン、外部からマグネット角度変更可能

GRS-V ロータリーマグネトロンエンドブロック
GRS-V 吊り下げ型

吊り下げ型エンドブロック、外部からマグネット角度変更可能

エンドブロックの特徴
 ターゲット径, mmターゲット長さリークレート
He, mbar∗L/s		投入可能電力特徴
GRS-S75, 90, 100, 10515cm ~ 1.2m
(取付方向・材料による）		≤5 x 10-8 40kW小型、矩形マグネトロンのスペースに取付可能
GRS-C75, 90, 105, 152-16515cm ~ 1.2m
エンドサポートで最長2m		≤5 x 10-8 >100kWハイパワー・高水冷性能・マグネット角度調整
GRS-M75, 90, 105, 152-165縦置：1.8mまで
横置：2.5mまで		≤5 x 10-8 60kW小型ハイパワー
GRS-V75, 100/105, 152-165縦置：2.5mまで≤5 x 10-8 >100kWマグネット回転可能・低コスト
GRS Plasma

マグネットバー

マグネットバー

マグネットオプション

LS: 低磁場マグネットCVD・高周波電源モード
SSF: 標準マグネットスパッタリング
HS: 強磁場マグネット低電圧スパッタ・高パワー
PP: アンバランス、イオンアシストハードコーティング
DLIM: デュアルカソード低インピーダンス反応性スパッタリング、AC電源
AA: アクティブアノード低温・低電圧・DCパルス・・酸化反応性スパッタリング
HS＋AAITO

ガスバー、マルチゾーン対応

ガスバー
ガスバー取付例
GRS-S シングルカソード
GRS-S デュアルカソード
GRS-S ITOデュアルターゲット
GRS-S 小型デュアルカソード
カンチレバーデュアル、ターゲットなし、ガスバー、アクティブアノード
GRS-C サイドマウント
GRS-V システム
GRS-C 背面
GRS-S ロータリーマグネトロン、ガスバー付
アクティブアノードプラズマ