ラムダセンサを使用した、真空向け酸素センサー。酸素だけでなく第16族（カルコゲン）元素にも反応するため、セレン（Se）・硫黄（S）の検出にも使用可能。

酸化ジルコニウムセラミック（ジルコニアーラムダセンサ）を使用する検出手法でNernst Cellと呼ばれる固体電気化学燃料電池を基本としています。2つの電極から、真空雰囲気内のガス量を大気と比較した時の電圧値として出力します。

VacGas-G16はセンサ温度の高速フィードバック制御とガス補正を組み合わせて、酸素レベルを正確な分圧値として出力します。

この技術は自動車のエンジンで効率的な燃焼を実現するための酸素レベルをサンプリングするのに使用されています。真空分野ではラムダセンサは既に長い間使用されて来ていますが、プラズマ監視や質量分析手法に比べると、その応答速度と精度は劣っていました。

ジェンコア社製のVACGAS-G16は、RGAおよび光スペクトル法と対等な性能を持ち、その出力は差動排気機構付RGAよりも感度が高く、低ノイズです。これにより、他のガスセンサと比較して、VACGAS-G16はラムダセンサ自体の堅牢性と低コストを兼ね備えた高性能センサといえます。

VacGas G16 - 酸素センサー、ラムダセンサー